Etudes de cas Perlast

Il est prouvé que les matériaux Perlast offrent des solutions d'étanchéité supérieures dans un certain nombre d'industries et d'applications.

Génralits

#C0012: Perlast prolonge les cycles d'entretien de 40% dans les nouveaux actionneurs et vannes de Thermo Vacuum Generators
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Secteur bioanalytique

#B0173: Micro-joints en Perlast destinés aux applications analytiques ?Lab-on-a-Chip ?d'Upchurch
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Secteur pharmaceutique

#P0056: Précision des joints en Perlast destinés à des valves ChargePoint à haut degré de confinement
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Semi-conducteurs

#S0141: Le Perlast® G67P a réduit les pertes de production de 14% à 0%.
Les joints en Perlast® G67P qui équipaient entièrement une chambre dans un procédé de décapage par voie sèche de photorésine 200mm, muni d'un module à vapeur, ont été comparés avec le matériau FFKM d'un concurrent. Le nombre de particules supérieures à 0,2? déposées sur les plaquettes a été mesuré sur une période de 9 mois. Le matériau d'étanchéité FFKM produisait 0 à 20 particules par plaquette pendant 70% du temps, avec des pointes à plus de 50 particules par plaquette pendant 14% du temps. Un nombre supérieur à 50 particules était considéré hors spécification et les plaquettes étaient rejetées, ce qui équivalait à une perte de production de 38 jours. Les joints du concurrent étaient, par conséquent, changés plus souvent afin de réduire la perte de production. On a mesuré, dans la chambre munie de joints en Perlast® G67P, moins de 20 particules pendant 95% du temps. Aucune plaquette n'est sortie de la limite de 50 particules et aucune perte de production n'a été observée. En outre, il n'a pas été nécessaire de changer les joints en Perlast aussi fréquemment, ce qui a permis de réduire le coût d'exploitation et d'augmenter les intervales d'entretien.

#S0019: Le Perlast® G67P appliqué sur une vanne MONOVAT® a généré un triplement de la production de plaquettes.
Un grand fabricant de semi-conducteurs rencontrait des problèmes de contamination et de faible production de plaquettes dans un procédé de dépôt en phase vapeur chimique (CVD) à faible constante diélectrique (Low-K) sur un outil Producer®. Les tiroirs dynamiques MONOVAT® étaient dotés d'un matériau FFKM blanc traditionnel et devaient être remplacés toutes les 15 000 à 30 000 plaquettes. Depuis qu'il utilise des tiroirs MONOVAT® munis de Perlast® G67P, le producteur de puces a atteint une production de 90 000 plaquettes, ce qui représente une économie considérable. Ce résultat rend compte de la composition ultrapure, la résistance chimique supérieure et les remarquables propriétés mécaniques des matériaux Perlast. Marques déposées : MONOVAT® - VAT Vakuumventile AG, Producer® - AMAT

#S0051: Le Perlast® G67P a doublé le cycle d'EP.
Une usine de fabrication américaine utilisant des joints en Perlast® G67P dans toute la chambre avec un environnement de décapage par voie sèche CF4, N2, H2, O2 à 250? a obtenu une augmentation du cycle d'EP de 90 000 à 180 000 plaquettes. Le matériau utilisé auparavant subissait une érosion qui provoquait une particulation. Après leur retrait, une inspection visuelle des joints en Perlast n'a montré aucune dégradation et un comptage des particules a prouvé que la particulation avait été supprimée.

#S0048: Le Perlast® G67P supprime la particulation.
Un matériau FFKM blanc utilisé dans une bride MESC dans un procedé Nanofill de dépôt en phase vapeur chimique (CVD) assisté par plasma haute densité (environnement SiH4, NF3, H2, O2 à 180?, nettoyage par plasma à distance au NF3) provoquait une particulation et une réduction de la production de microplaquettes en raison du fendillement du joint dans les coins après 7 500 plaquettes. Ce matériau a été remplacé par le Perlast® G67P et aucun fendillement de quelque sorte que ce soit n'a été observé au-delà de 7 500 plaquettes.

#S0044: Le Perlast® G67P a augmenté la production de microplaquettes de 100%.
L'étanchéification d'une chambre réalisée à l'aide de joints en Perlast® G67P dans un procédé de dépôt en phase vapeur chimique (CVD) assisté par plasma haute densité (environnement SiF4, SiH4, NF3, O2 à 175?, nettoyage par radiofréquence direct au NF3) a prolongé les cycles d'EP de 10 000 à 20 000 plaquettes. Le matériau blanc en FFKM utilisé auparavant se fendillait, ce qui a engendré une grave particulation et une réduction significative de la production.

#S0024: Le KIMURA™ K13X a réduit les temps d'arrêt de 66%.
Des joints en KIMURA™ K13X ont été montés sur la vanne à tiroir d'une turbopompe dans un procédé de polygravure (environnement Cl2, HBr à175?) pour une usine de fabrication américaine après que cette dernière ait connu des fuites et une particulation dues à une érosion des joints. Les joints en KIMURA™ ont réduit les temps d'arrêt en prolongeant les cycles d'EP de 45 000 à 75 000 plaquettes.

#S0018: Le Perlast® G67P a augmenté le cycle d'EP de 366%.
L'étanchéification d'une chambre réalisée à l'aide de joints en Perlast® G67P dans un outil d'élimination par micro-ondes à haute température de la résine photosensible a prolongé les cycles d'entretien préventif (EP) de 6 000 à 22 000 plaquettes. Ce résultat a été obtenu en combinant une production de particules réduite, une meilleure résistance aux gaz de traitement, une meilleure compatibilité plasmatique et une perméabilité plus faible par rapport au matériau d'étanchéité utilisé auparavant.