Vannes à tiroirs

Perlast propose un grand choix de profilés, therma-moulés ou non qui optimisent l'intégrité et l'espérance de vie des joints destinés aux vannes à tiroirs.

Les tiroirs munis de Perlast® maximisent la production des plaquettes et les cycles d'EP grâce à l'emploi d'élastomères perfluorés translucides ultrapurs qui n'utilisent pas de charges inorganiques (oxydes métalliques et silices, par exemple) pouvant entraîner une particulation dans des applications munies de portes dynamiques.

Des pates de vanne produites selon vos exigences

Les joints de forme moulés sur mesure et qui suivent le cheminement d'une gorge rectangulaire ont une longévité considérablement plus grande car ils permettent une réduction des contraintes constatés dans les coins sur des joints toriques classiques.

Perlast Limited peut optimiser la conception des gorges afin d'adapter des joints à section circulaire et peut proposer des solutions de modernisation de matériel existant.

Pour ce qui est des nouvelles applications, les ingénieurs de Perlast peuvent prodiguer des conseils en matière de conception afin de trouver le meilleur moyen d'actionner et de commander la porte pour empêcher toute fuite et maximiser la durée de vie effective du joint.

Les joints de portes de grande taille destinés aux équipements de production de panneaux solaires et d'écrans plats sont disponibles sous forme de pièces entièrement moulées.

Le Perlast® G67P appliqué sur une porte MONOVAT® a permisade tripler la production de wafers.

Un grand fabricant asiatique de semi-conducteurs rencontrait des problèmes de contamination et de faible production de wafers dans un procédé de dépôt en phase vapeur chimique (CVD) à faible constante diélectrique (Low-K) sur un outil Producer®. Les tiroirs dynamiques en MONOVAT® étaient dotés d'un matériau FFKM blanc traditionnel et devaient être remplacés toutes les 15 000 à 30 000 plaquettes.

Depuis qu'il utilise des pontes MONOVAT® munios de joints Perlast® G67P, ce producteur de puces a atteint une production de 90 000 plaquettes, ce qui représente une économie considérable. Ce résultat rend compte de la composition ultrapure, de la résistance chimique supérieure et des propriétés mécaniques remarquables des matériaux Perlast®.

MONOVAT® est une marque déposée de VAT Vakuumventile AG.