Compatibilité chimique des matériaux pour semi-conducteurs Perlast®

par type de procédé : gravure, dépôt, voie humide et thermique

Gravure

 

Légende :

1 = privilégié

2 = alternatif

3 = non recommandé

Dépôt

 

Légende :

1 = privilégié

2 = alternatif

3 = non recommandé

Voie humide

 

Légende :

1 = privilégié

2 = alternatif

3 = non recommandé

Thermique

 

Légende :

1 = privilégié

2 = alternatif

3 = non recommandé

 
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