Compatibilité chimique des matériaux pour semi-conducteurs Perlast®
par type de procédé : gravure, dépôt, voie humide et thermique
Gravure

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Légende :
1 = privilégié
2 = alternatif
3 = non recommandé
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Dépôt
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Légende :
1 = privilégié
2 = alternatif
3 = non recommandé
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Voie humide

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Légende :
1 = privilégié
2 = alternatif
3 = non recommandé
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Thermique

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Légende :
1 = privilégié
2 = alternatif
3 = non recommandé
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