Semi-conducteurs

Les joints Perlast® ont été mis au point spécialement pour offrir des solutions d'étanchéité supérieures présentant des performances et des fonctionnalités améliorées dans les procédés pour semi-conducteurs les plus critiques.

Les matériaux d'étanchéité Perlast facilitent la réduction de la contamination et présentent une excellente résistance chimique : ils allongent ainsi l'espérance de vie du joint dans les procédés pour plaquettes secs et humides.

Le moment est venu de passer à Perlast.

Avantages de l'utilisation de Perlast :
- Allongement des cycles d'EP des machines
- Réduction des défauts des procédés
- Optimisation des conditions opératoires
- Réduction de la génération de particules
- Augmentation du rendement des outils
- Réduction du coût d'exploitation

Pureté
Tous les grades de Perlast® pour semi-conducteurs sont produits dans deux salles blanches conçues sur mesure d'une surface totale de 420 m² afin d'éviter une contamination par l'atmosphère qui pourrait engendrer une réduction de la production de plaquettes.

La vanne à tiroir MONOVAT® (illustrée ci-dessus) est une marque déposée de VAT Vacuumvalves AG.